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标准详情

表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度

应用领域: 材料行业    标准号: GB/T 20176-2006
检测样品: 陶瓷   发布部门: 国家标准化管理委员会
文档类型: 发布时间: 2016-05-07
文档大小: 2.74MB 执行状态: 现行

标准介绍:

本标准详细说明了用标定的均匀掺杂物质确定单晶硅中硼的原子浓度的二次离子质谱方法。